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標(biāo)準(zhǔn)混合氣的制備方法|譜源氣體
2019-7-18 10:23:56
標(biāo)準(zhǔn)混合氣體是一種高純氣體作稀釋氣（又稱(chēng)平衡氣或背景氣），再添加一種或幾種其他的高純氣體（又稱(chēng)組分氣或摻雜氣）配置而成。標(biāo)準(zhǔn)混合氣體中組分的含量可以從1*10-6到50%范圍內(nèi)任意選擇，標(biāo)準(zhǔn)氣體的配置方法主要是稱(chēng)量法、分壓法、體積法、滲透法、飽和法、點(diǎn)解法、指數(shù)稀釋法、流量比混合法等。
標(biāo)準(zhǔn)混合氣體配制技術(shù)
一：重量法
該方法應(yīng)用高載荷精密天平稱(chēng)量裝入鋼瓶中的各氣體組分,根據(jù)各組分的質(zhì)量比,計(jì)算出鋼瓶中標(biāo)準(zhǔn)氣的濃度。將配氣鋼瓶進(jìn)行預(yù)處理,除去銹跡和污垢,并經(jīng)水壓試驗(yàn)合格,然后在烘箱中減壓加熱,冷卻后除去水氣,再用稀釋氣體沖洗[1]。要求裝入鋼瓶中的各組分氣體對(duì)鋼瓶材料無(wú)腐蝕和吸附等作用。
該方法在生產(chǎn)效率上與其它方法相比不是最好的方法。但它以質(zhì)量單位為依據(jù),在精度上比較可靠,因此,被公認(rèn)為是制備基準(zhǔn)氣體的主要方法,各個(gè)國(guó)家的基準(zhǔn)氣體的配制基本采用重量法。
二：壓力比法
這種方法在配制混合氣體時(shí),根據(jù)測(cè)定各組分的壓力,按指定濃度進(jìn)行配氣。根據(jù)需要可分別使用波爾銅管式壓力計(jì)、油壓力計(jì)、麥克列奧真空計(jì)等。這種方法的特點(diǎn)是,只需要壓力計(jì),沒(méi)有壓縮機(jī)也可以制備。然而,充填時(shí)容易產(chǎn)生壓縮熱,且混合不勻,對(duì)指定濃度準(zhǔn)確地充填很困難。
三： 質(zhì)量流量比法
該方法以流量比率混合的方法進(jìn)行標(biāo)準(zhǔn)氣體的配制,因此流量的準(zhǔn)確測(cè)定是保證所配制氣體的關(guān)鍵,常用的一些流量測(cè)量方法受氣壓和溫度的影響較大,容易影響標(biāo)準(zhǔn)氣體的精度。四： 靜態(tài)容量法
將欲配制組分氣體(或液體)通過(guò)注射孔注入一密封容器(混合室)中,同時(shí)導(dǎo)入稀釋氣體,測(cè)定混合氣體的溫度、壓力。根據(jù)配制組分的注入量、容器體積、溫度、壓力計(jì)算出標(biāo)準(zhǔn)氣體的濃度。目前,國(guó)家標(biāo)準(zhǔn)仍然沿用靜態(tài)容量法配氣裝置配氣。這種配氣方法由于壓力和溫度修正的不確定性導(dǎo)致配制的重復(fù)性和準(zhǔn)確性較差
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