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二氯二氫硅《氣體應(yīng)用大全》
2014-3-6 23:13:17
二氯二氫硅SiH2Cl2
1.別名·英文名
二氯硅烷；DichIorosilane．
2.用途
電子氣、外延、化學(xué)氣相淀積。
3.制法
(1)硅烷或一氯硅烷在三氯化鋁存在下與氯化氫反應(yīng)。
(2)在高溫下，硅與氫及氯化氫反應(yīng)，再精餾提純。
(3
(4)
4.理化性質(zhì)
分子量： 101.010
熔點(diǎn)： -122.0℃
沸點(diǎn)(101.325kPa)：8.2℃
液體密度(25℃，101.325kPa)： 1220kg/m3
氣體密度(25℃，101.325kPa)：4.168kg/m3
相對密度(氣體，空氣=1，25℃，101.325kPa)：3.52·
比容(21.1℃，101.325kPa)：0.2391m3/kg
氣液容積比(15℃，100kPa)： 290L/L
臨界溫度： 176.0℃
臨界壓力：4676kPa
臨界密度：463kg/m3
壓縮系數(shù)：
|
溫度℃ |
壓 縮 系 數(shù) | |||
|
50kPa |
80kPa |
120kPa |
250kPa | |
|
15 |
0.9859 |
0.9772 |
0.9654 |
|
|
50 |
0.990 |
0.9838 |
0.9756 |
0.9479 |
氣化熱(8.4℃，101.325kPa)： 249.kJ/kg
比熱容(25℃，氣體)： Cp=611.27J/(kg·K)
蒸氣壓(-20℃)： 31.4kPa
(0℃)： 81.1kPa
(20℃)： 167.2kPa
粘度(氣體，20℃，101.325kPa)：0.0163mPa·s
表面張力(20℃)： 11.9mN/m
空氣中可燃范圍(20℃，101.325kPa)： 4.1%～98.8%(體積)
自燃點(diǎn)： 100.0℃
二氯硅烷在常溫常壓下為具有刺激性窒息氣味和腐蝕性的無色有毒氣體。空氣中易燃，100℃以上能自燃，燃燒氧化后生成氯化氫和氧化硅。加熱至100℃以上時(shí)會自行分解而生成鹽酸、氯、氫和不定性硅。施以強(qiáng)烈撞擊時(shí)也會自行分解。在濕空氣中產(chǎn)生腐蝕性煙霧。遇水水解生成鹽酸和聚硅氧烷(SiH2O)4。可溶于苯、醚和四氯化碳。與堿、乙醇、丙酮起反應(yīng)。即使接觸小量鹵素或其它氧化劑也會發(fā)生激烈反應(yīng)。與三烷基胺、吡啶形成加成化合物。與三氟化銻反應(yīng)生成氟硅烷。
5.毒性
有毒氣體范圍： >0.25ppm
嗅覺濃度： ～1ppm
刺激性濃度： ～10ppm
最高容許濃度：0.5ppm(2mg/m3)
二氯硅烷的毒作用主要是由它在濕空氣中的水解產(chǎn)物氯化氫引起的。因此，人吸入后激烈刺激呼吸道，引起嗆咳、呼吸道發(fā)炎、喉痙攣和肺水腫。觸到眼睛可引起流淚并導(dǎo)致眼灼傷。接觸皮膚可引起化學(xué)燒傷。液態(tài)二氯硅烷也可引起冷燒傷。
6.安全防護(hù)
可把二氯硅烷看作火源，禁止在任何火災(zāi)危險(xiǎn)區(qū)存放鋼瓶或敷設(shè)二氯硅烷的管道。氣體用鋼瓶貯裝，鋼瓶要存放在陰涼干燥通風(fēng)的室外或強(qiáng)制通風(fēng)的室內(nèi)，要遠(yuǎn)離氧化劑、火源和熱源。設(shè)備管道等使用前須脫水和密封。可用氦探漏器、氨或本身的窒息性氣味來檢漏。所有設(shè)備管道要接地。設(shè)備或裝置暫時(shí)不用或延長停產(chǎn)時(shí)間時(shí)，應(yīng)把二氯硅烷放出來，充入干燥的惰性氣體。
有水分時(shí)二氯硅烷呈強(qiáng)酸性，腐蝕性極強(qiáng)。對無水二氯硅烷可用鐵、低合金鋼、鎳鋼、銅鎳合金、鎳、海帕倫、蒙乃爾、銀、金、鉑、鉭。不能用鋁、鋁合金、銅硅合金、黃銅等。可以用聚四氟乙烯、聚三氟氯化乙烯聚合體、天然橡膠、玻璃、瓷料、石墨等。但是在二氯硅烷可能燃燒的地方避免使用可燃性材料。
當(dāng)發(fā)生火災(zāi)時(shí)，首先要關(guān)閉氣瓶閥，斷絕氣源。滅火時(shí)，如果用水，則產(chǎn)生大量氯化氫，如果用堿性粉末，則產(chǎn)生氫氣，因此這兩者都不可用。可以用二氧化碳和砂子。
廢氣可用水或苛性鉀等堿液吸收，可以用相應(yīng)的吸附劑吸附，也可以在嚴(yán)格控制下燃燒。
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