歡迎蒞臨廣州譜源氣體有限公司
熱門(mén)下載
聯(lián)系粵佳
廣州市譜源氣體有限公司
六氟乙硅烷《氣體應(yīng)用大全》
2014-3-6 23:00:17
六氟乙硅烷Si2F6
1.別名·英文名
六氟化二硅；Disilicon hexafluoride、Hexafluorodisilane．
2.用途
含氟非晶硅膜，非晶硅的原料氣。
3.制法
(1)
(2)
4.理化性質(zhì)
分子量： 170.16
升華溫度(101.325kPa)： -19.1℃
三相點(diǎn)(103.991kPa)： -18.7l℃
液體密度(0℃)： 5997kg/m3
氣體密度(0℃)： 7.76kg/m3
臨界溫度： 71℃
熔化熱(103.991kPa，-18.7℃)： 95.9598kJ/kg
氣化熱(103.991kPa，-18.7℃)： 159.933kJ/kg
升化熱： 255.8928kJ/kg
蒸氣壓(-50.2℃)： 5.706kPa
(-24.9℃)： 65.595kPa
(-6.5℃)： 186.918kPa
六氟乙硅烷在常溫常壓下為具有強(qiáng)刺激臭的無(wú)色有毒氣體，在空氣中不燃燒。在水中水解生成H2、H2SiO4、H2SiF6、
H2Si2O4等。
Si2F6+4H2O→6HF+H2Si2O4
6HF+H2Si2O4→H2+H2SiF6+H4SiO4
H4SiO4+6HF→4H2O+H2SiF6
在室溫，即使與氯混合也不反應(yīng)，但是當(dāng)加熱時(shí)產(chǎn)生激烈反應(yīng)而生成SiF4、SiClF2、SiCl2F2等。
5.毒性·安全防護(hù)
當(dāng)六氟乙硅烷漏到大氣中時(shí)與水分反應(yīng)生成硅氟酸和氫氟酸。因此，可以認(rèn)為它的毒性和硅氟酸、氫氟酸相同。
最高容許濃度：2.5mg/m3
探漏方法，一是靠其強(qiáng)烈的刺激臭，二是靠其在空氣中水解生成的SiO2白煙。
廢氣直接排大氣是危險(xiǎn)的，而且是防止大氣污染所不允許的。所以，一般用水吸收處理。在用水吸收處理時(shí)，水解產(chǎn)生氫氣，因此，對(duì)氫氣需要采取一定的措施。
- 核磁共振等行業(yè)可能受氦氣短缺影響成本上升2019-06-05
- 環(huán)境監(jiān)測(cè)中的光譜學(xué)技術(shù)進(jìn)展2018-12-13
- 氫氣已被多國(guó)列為食品添加劑2018-11-27
- 塞拉尼斯將收購(gòu)林德在得克薩斯氫氣和一氧化碳工..2018-11-24
- 甲醇市場(chǎng)持續(xù)下跌2018-11-22
- 普萊克斯在美國(guó)新建液氫工廠2018-11-08
- 大連化物所實(shí)現(xiàn)二氧化碳直接加氫制取芳烴2018-11-07
- 氦氧混合潛水作業(yè)成功打撈重慶萬(wàn)州墜江公交車2018-11-03
- 馬鋼氣體成功研制出高純氮?dú)夂透呒儦鍤?/a>2018-10-30
- 為什么說(shuō)氦氣是天然氣體中被忽視的“黃金”2020-01-10
廣州市譜源氣體有限公司 粵ICP備08114730號(hào)
地址：廣州市增城新塘西洲大王崗工業(yè)區(qū)
全國(guó)熱線電話：19876107228
公司電話：19876107228
公司傳真：020-82797482
聯(lián)系郵箱：[email protected]
地址：廣州市增城新塘西洲大王崗工業(yè)區(qū)
全國(guó)熱線電話：19876107228
公司電話：19876107228
公司傳真：020-82797482
聯(lián)系郵箱：[email protected]
