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          氣體知識(shí)

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          四氟化硫《氣體應(yīng)用大全》

          2014-3-6 22:51:17

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          四氟化硫SF4
          1.別名·英文名
          氟化硫;Sulfur tetrafluoride、Sulfur fluoride.
          2.用途
          電子氣、化學(xué)氣相淀積、氟化劑、表面處理劑、等離子干刻。
          3.制法
          2F2+S→SF4
          4.理化性質(zhì)
          分子量: 108.058
          熔點(diǎn): -121.5℃
          沸點(diǎn)(101.325kPa): -40.4℃
          液體密度(-40.4℃,101.325kPa):1816kg/m3
          (-80℃,S.P.): 1940.6kg/m3
          氣體密度(20℃,101.325kPa):4.558kg/m3
          相對(duì)密度(氣體,空氣=1,20℃,101.325kPa):3.783
          比容(21.1℃,101.325kPa):0.2247m3/kg
          臨界溫度: 90.9℃
          臨界壓力: 6342.9kPa
          氣化熱(-40.4℃,101.325kPa): 200.72 kJ/kg
          比熱容(氣體,25℃): Cp=707.57 J/(kg·k)
          蒸氣壓(-100℃): 0.9kPa
          (-60℃): 32kPa
          (21.1℃): 1067kPa
          表面張力(232.75K): 19.85mN/m
          四氟化硫在常溫常壓下為具有類似二氧化硫氣體的強(qiáng)烈刺激臭的無(wú)色有毒腐蝕性氣體。空氣中不燃燒。在600℃以下很穩(wěn)定,但是遇到潮濕空氣時(shí)水解產(chǎn)生有毒的煙霧,其毒性很強(qiáng),與光氣的毒性相似。與水和酸類激烈反應(yīng)生成氟化氫和二氧化硫。有少量水分時(shí)能腐蝕玻璃。能溶于苯。
          5.毒性
          老鼠在4ppm時(shí)呼吸困難,衰弱;在20ppm時(shí)經(jīng)4小時(shí)因肺氣腫而致命。
          最高容許濃度:0.1ppm(0.4mg/m3)
          四氟化硫的毒作用很強(qiáng),它與人體內(nèi)的水分作用生成氟化氫,因而對(duì)眼、皮膚和呼吸道系統(tǒng)造成嚴(yán)重的損傷。癥狀有刺激眼和咽喉,皮膚灼傷,咳嗽,肺水腫等。
          6.安全防護(hù)
          工作時(shí)不要露出皮膚,保持室內(nèi)空氣新鮮干燥。用氣的設(shè)備應(yīng)事先烘烤干燥,用惰性氣體沖冼,再用氟氣鈍化以增強(qiáng)其耐蝕性。設(shè)備要嚴(yán)格密封,可用氨水探漏。
          干燥SF4氣可用不銹鋼、耐鹽酸鎳基合金、鋁、鋁合金、鎳、鎳合金、銅、銅合金和玻璃。對(duì)潮濕的SF4氣體只能用蒙乃爾和因科鎳合金。可以用聚四氟乙烯和聚氯乙烯。
           
           
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