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電子工業(yè)氣體六氟化硫、氯化氫技術指標

電子工業(yè)用六氟化硫（SF6）
項目名稱		范圍	指標
SF6純度（體積分數(shù)）/10^-2		≥	99.99
空氣含量（體積分數(shù)）/10^-6		≤	50.0
CF4含量（體積分數(shù)）/10^-6		≤	15.0
H2O含量（體積分數(shù)）/10^-6		≤	8.0
酸度（以HF計）（體積分數(shù)）/10^-6		≤	1.0
可水解氟化物（以HF計）（體積分數(shù)）/10^-6		≤	1.0
其他雜志（CO2、C2F6、C2F8、SO2F2、S2OF2、S2OF10）（體積分數(shù)）/10^-6		≤	15.0
雜志總和（體積分數(shù)）/10^-6		≤	100
顆粒			由供需雙方商定
電子工業(yè)用氯化氫（HCL）
項目名稱	范圍			指標
Hcl純度（體積分數(shù)）/10^-2	≥			99.999
O2+Ar含量（體積分數(shù)）/10^-6	≤			1
N2含量（體積分數(shù)）/10^-6	≤			2
CO含量（體積分數(shù)）/10^-6	≤			2
CO2含量（體積分數(shù)）/10^-6	≤			2
CH4含量（體積分數(shù)）/10^-6	≤			0.5
烴類（C1~C3）含量（體積分數(shù)）/10^-6	≤			1
H2O含量（體積分數(shù)）/10^-6	≤			1
金屬離子含量（Fe）/10^-6				0.5
其他離子Mn、Zn、Cr、Co、Cu、Ni含量（質量分數(shù)）/10^-6				-

電子工業(yè)用氣生產廠家譜源氣體專業(yè)供應各種電子氣體，電子氣體主要用于大規(guī)模集成電路、液晶屏、太陽能電池、光電半導體、光導纖維等行業(yè)。

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